سنشارككم اليوم مجالات التطبيق المفيدة الأخرى للأغشية المسطحة من كربيد السيليكون-. تمثل أغشية صفائح كربيد السيليكون المسطحة- المدمجة مع عمليات الحمأة المنشطة في MBRs سيناريوهات تشغيل منخفضة - (تدفق التصميم 25~60 LMH، المادة المرتشحة من مكب النفايات 25 LMH، مياه الصرف الصحي المحلية 60 LMH). على العكس من ذلك، تحتوي أغشية صفائح كربيد السيليكون المسطحة-أيضًا على العديد من سيناريوهات تشغيل التدفق العالي-المفيدة (تدفق التصميم 150~1000 LMH).
بالمقارنة بسيناريوهات تشغيل التدفق المنخفض-، فإن أغشية صفائح كربيد السيليكون المسطحة-تعتبر بالتأكيد أكثر فعالية من حيث التكلفة-في سيناريوهات تشغيل التدفق العالي-.
سنركز اليوم على تطبيق الأغشية المسطحة من كربيد السيليكون-في مياه الصرف الصحي عالية التعكر- في صناعة أشباه الموصلات.
المصادر الرئيسية لمياه الصرف الصحي عالية التعكر- في صناعة أشباه الموصلات هي:
1. تنظيف مياه الصرف الصحي بعد طحن الرقاقة وتقطيعها (ترقق الجانب الخلفي لتقليل سماكة الرقاقة؛ تقطيع الرقاقة إلى شرائح)
2. تنظيف مياه الصرف الصحي بعد الاستواء
تسمى تقنية الاستواء في صناعة أشباه الموصلات CMP (التلميع الميكانيكي الكيميائي). المبدأ الأساسي لـ CMP (التلميع المستمر) هو تدوير الرقاقة بالنسبة إلى وسادة التلميع في وجود ملاط كاشط (مثل محلول KOH الذي يحتوي على جزيئات معلقة من SiO2 الغروية) أثناء الضغط، وبالتالي تحقيق التلميع من خلال الطحن الميكانيكي والنقش الكيميائي. ستتوسع هذه التقنية بلا شك من استواء العوازل البينية (ILDs)، والعوازل، والموصلات، والمعادن المدمجة (W، Al، Cu، Au)، والبولي سيليكون، وقنوات أكسيد السيليكون في صناعة أشباه الموصلات إلى مجالات المعالجة السطحية مثل -أقراص تخزين الأغشية الرقيقة، والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MFMS)، والسيراميك، والرؤوس المغناطيسية، والمواد الكاشطة الميكانيكية، والصمامات الدقيقة، والزجاج البصري، والمواد المعدنية.
فيما يلي خصائص مياه الصرف الصحي عالية التعكر- الناتجة عن صناعة أشباه الموصلات:
1. التعكر العالي، ويرجع ذلك في المقام الأول إلى التركيزات العالية من الجسيمات الدقيقة.
2. انخفاض الموصلية وانخفاض TOC.
3. مياه الصرف الصحي CMP لها خصائص مؤكسدة.
من منظور تلوث الأغشية، فإن عامل التلوث هو ببساطة تركيزات عالية من الجسيمات الدقيقة. تعتبر طرق التنظيف الفيزيائية فعالة للغاية في تجديد تدفق الغشاء. الموصلية المنخفضة وTOC المنخفض يعنيان ميلًا منخفضًا للتلوث العضوي والقشور، مما يؤدي إلى دورات تنظيف كيميائية طويلة.
هذا هو سيناريو التطبيق المثالي لتكنولوجيا فصل الغشاء! إنها مصممة بشكل أساسي لتشغيل الترشيح الأولي!
التركيزات العالية من الجسيمات الدقيقة تعني أن سرعات التدفق العالية على سطح الغشاء تشكل خطرًا مستمرًا للتآكل الميكانيكي لطبقة فصل الغشاء.
مزايا تقنية الترشيح الفائق المغمور باستخدام أغشية مسطحة من كربيد السيليكون لمياه الصرف الصحي عالية التعكر- في صناعة أشباه الموصلات:
1. التدفق العالي: تدفق الغشاء أكبر من أو يساوي 300 LMH، تكلفة استثمار منخفضة؛
2. انخفاض استهلاك الطاقة: انخفاض تكاليف التشغيل والصيانة.
3. معدل استرداد مرتفع (يصل إلى أكبر أو يساوي 95%)، مقارنة بـ 75%~85% للأغشية العضوية.